주식회사 한울이엔지
(주)한울이엔지는 초고진공 시스템 설계 능력과 우수한 제작 기술을 기반으로
국내외 연구소 및 기업체에 관련 서비스를 제공 하고 있습니다.
BUSINESS
반도체 장비 부품
반도체 장비 부품
반도체 장비의 유지보수에 필요한
주요 부품 수리 & 제작 판매
적용분야 및 제품
- PVD : Bellows, Metal Heater
- CVD : Bellows, Gate & Slit Valve Ass’y, Spindle
- ETCH : Bellows, Special Gasket, Si Cathode & Edge Ring
- IMP : Roplate, Manipulator, Tilter, Mass Slit, etc.
Level 1 _ BELLOWS ONLY REBUILD
New Bellows
Polished Surface
Vacuum & Electric tested and certificated
Level 2 _ FULL REBUILD
New Bellows
New Heater Element & Wires
New T/C
Polished Surface
Vacuum & Electric tested and certificated
- HTHU & E-Chuck (Bellows only no full rebuild available)
Warranty
- 90 days warranty from time of shipment
Warranty is void due to mishandling by customer